盛明安单手撑着脸颊,垂眸望着褐色浓茶泛起的涟漪，思索光源系统中使用的激光器，制造合适光源的激光器结构即前置放大器和主放大器的输出激光和功率,应该怎么配合交替使用？
激光器信号增益与气体压力成反比的前提下,系统可考虑使用快横流co2技术。
其次是光源优化。
基于粒子群优化算法,公式v^(k 1)=wv^(k)……
光源与掩膜、光源归一化……
“明安？……盛明安？”
盛明安回神，对上陈惊璆沉静墨黑的眼睛，食指轻轻挠了挠脸颊问：“有事吗？”
陈惊璆无奈：“休息时间也能走神？”
盛明安：“在想激光器结构和光源优化的算法。”
陈惊璆：“休息就是让大脑放空、放轻松,你看林成建他们一到休息室就喝茶八卦，绝口不提科研项目。”
盛明安回头一看才发现林成建他们都走了。
“他们刚刚在讨论双工作台研发团队，互相攀比，我觉得压力太大，所以不想听。”
陈惊璆盯着盛明安，几秒后下结论：“撒谎。你恐怕不知道压力两个字怎么写。”
盛明安撑着头直视陈惊璆的目光，眉眼弯弯：“我真的有压力,六月提交提前毕业申请，时间上来不及修补剩下的两年学分，只能尽快解决光源系统,靠这个让学校网开一面，同意你我以特殊人才的身份补完学分。”
陈惊璆拿起手肘边的白瓷杯子倒黑咖啡,一边操作咖啡机一边说：“不用算我,我学分修得差不多了。”
盛明安愣住：“你哪来的时间修学分？”
陈惊璆失笑：“我不像你必须整天泡在实验室里跟研发进度,除了工作上一些事需要处理,其他时间很闲的。”
是吗？盛明安有些怀疑，他一直以为陈惊璆很忙。
事实是陈惊璆不像他嘴上说的那么闲，他只是善于利用每一分每一秒，懂得如何处理两件同等级重要的事在时间与空间上发生不相容的矛盾。
事关情商,以及一种从缝隙中挣扎着艰难求生而练就的本领，那是简单透明的盛明安学不来、也不能懂的。
陈惊璆伸出手，说：“保温杯给我，我帮你重新沏壶茶。”
盛明安的目光落在陈惊璆摊开的手掌，掌心白皙干净，掌纹清晰，纹路很深，代表感情线的纹路长得深入食指和中指中间的缝隙。
感情线的纹路越深、越长，代表其主人越情深意重。
盛明安将手肘边的保温杯递给陈惊璆，后者接过去，打开盖子倒出里面没滤干净的茶渣，然后从茶水柜里重新翻出几罐不知什么品种的茶叶。
什么茶叶该抓多一点，什么该抓少一点，陈惊璆好像拿了把称称过一样，抓好后放进过滤包，开热水冲泡一遍，倒掉，再冲泡，动作行云流水。
挽到手肘处的袖口不小心掉下来，陈惊璆随手捋回去，腕骨还是很突出，瘦得嶙峋锋利，却不缺乏力量感。
盛明安眨了眨眼睛，在陈惊璆递来保温杯时，忽然握住陈惊璆的手腕，发现还差一大截才能完全圈住。
他手指已经够修长了，谁知还是圈不住陈惊璆的手腕。
怪不得陈惊璆的手腕看上去那么瘦却仍饱含力量，因为骨骼大，覆着一层精瘦的皮肉，所以看上去格外锋利。
陈惊璆呼吸一窒，喉结滚动：“你……干什么？”
盛明安抬头：“我圈不住。”
距离挺近的，陈惊璆晃神。
盛明安这两年长开了，从少年成长为身形修长挺拔的青年，面孔更加艳丽，眉眼精雕细琢似的，乍然靠近会被这股靡丽清冷冲击得神魂颠倒。
盛明安觉得没什么趣味便要缩回手，陈惊璆突然拽住他的手，柔软白皙，有点干燥，骨肉均匀，指尖泛着健康的粉色，他情不自禁就想亲吻这漂亮可爱的手指指尖。
“陈惊璆？”
连唤了几声，陈惊璆才从旖旎的情思中回神，对上盛明安疑惑的目光，若无其事的放下他的手：“突然碰我手腕被痒到了，条件反射。”
“哦。”盛明安没怀疑什么，接过保温杯，捏了捏有点酸的肩膀，同陈惊璆说：“光源系统研发到关键时刻，我就不去午休浪费时间了。”
陈惊璆的心脏还滚烫着，闻言没有多加挽留劝阻，点头应和一句我也去忙手里的活。
两人一起离开茶水间，前往地下实验室，途中看到计海从办公室里行色匆匆出来，进入电梯回到一楼，估计是又翘班离开。
盛明安：“计海这人不尽快处理掉吗？”
计海几个月没跟郑河联系，他们一致猜测是郑河不觉得蓝河科技会对鸿芯产生威胁，因此放弃窃取蓝河科技核心技术，同时放弃计海这颗棋子。
但陈惊璆至今没处理掉计海，盛明安有些不解。
“他在也不碍事。”陈惊璆说：“而且我希望能物尽其用。”
言下之意，现在弄走计海不能利益最大化。
盛明安‘哦’了声，想起什么似的，提醒道：“陈天鹤跟鸿芯可能有点关系。”
陈惊璆侧过脸，目光有些锐利：“明安怎么知道？”
明安？
没人这么喊过他，但最近陈惊璆几次脱口而出都这么喊，脱掉一个姓氏只喊名字显得无比亲近暧昧。
盛明安回他：“前年外公公司董事强烈要求投资鸿芯，所以我留意到鸿芯的同时，也发现陈天鹤和鸿芯的关系有些奇怪。我怀疑，陈天鹤很可能是鸿芯幕后老板。”
他当然不能说是系统告诉他这个秘密。
陈惊璆低声：“只要你注意到，果然就瞒不过你。”
这话的意思是他也早就察觉到陈天鹤和鸿芯之间的关系？
陈惊璆：“你放心，我早有防备。”
盛明安回应了声，挥挥手，去换了一身进无尘恒温实验室的装备，进入实验室。陈惊璆也进去忙碌了一阵，期间被林成建喊出来。
林成建：“曹书记找你。”
陈惊璆摘下面罩和口罩，脱手套的动作一顿，“津市市委副书记曹文翰？”
林成建：“对。”
陈惊璆脑子里梳理了一遍近来发生的事，最终笑说：“看来鸿芯撑不下去就快宣告破产了。陈天鹤居然连做个样子也没有就直接放弃，不过曹文翰找到蓝河科技，应该是鸿芯破产的风波波及面超过我们当初的预估。”
他对陈天鹤非常了解，知道这个人唯利是图，不可能真费力烧钱搞光刻机。
鸿芯和革芯又是同行项目，他一直暗中关注鸿芯项目的研发进度，而且非常清楚对方光刻机的研发进度，毕竟不是只有郑河想得出卧底这一招。
鸿芯会破产，早晚的事。
脱掉手套和身上的实验服，整齐挂好，标上名牌，关上柜门，陈惊璆套上一件薄款休闲西装外套，大步向外走去。
“曹文翰走上蓝河科技，应该有人指点。”林成建说。
陈惊璆：“陈天鹤肯定是其中一个。”
两人一前一后回到顶楼见亲自来访的曹文翰，办公室大门关起来，双方不知道在里头谈了什么。等日头渐渐西斜，曹文翰才满面春风的出来，同送他到电梯门口的陈惊璆握手就走了。
曹文翰访问蓝河科技，没怎么惊动别人，但回去市政府大楼便着手处理鸿芯落下来的一系列麻烦，动作雷厉风行，甚至有点破罐破摔无所谓津市半导体产业的发展，不再急于周旋美国商务部。
一时间更是人心惶惶。
***
五月初，鸿芯苦苦支撑，卖掉价值4亿的光刻机，抵押设备和土地，缓解资金困窘，但芯片断供一日未解决，就是再多钱填进去也毫无用处。
同样受芯片断供拖累的公司还有华兴，以及其他诸多下游产业。
半导体业界内其他关联公司眼看华兴和鸿芯被美国商务部简单一个芯片出口禁令就狼狈至此，不由产生唇亡齿寒之感，因此私底下悄悄出力，尽量拖延生存时间。
水木大学的教授研发出光刻机双工作台这一消息传出，成为业界一剂振奋剂，为萎靡不振的华国半导体产业注入一点蓬勃的力量。
五月底，蓝河科技实验室内，光源系统进入验收阶段。
与春城光机所合作，由春城光机所入股的国科精密提供的光学系统（一系列精密镜头、反射镜和透镜等光学元件系统），在此光学系统的基础上进行光源系统的实验验收。
盛明安担任该光源系统总工程师，左手旁是程院长，右手是陈惊璆，身后分别是雷客一行人以及程院长带来的研发团队。
原本光源系统研发进程没这么快，但有了程院长的研发团队便如虎添翼，进程迅速缩短一半。
现在正是光源系统的验收时刻，不是在电脑软件上运行的仿真建模，而是真实设备的光源系统实验验收阶段！
雷客紧张的吞咽口水，眼角余光瞥见杜颂这家伙紧张得手臂打摆！
真没出息！
他这么想着，浑然不知道自己的表现也好不到哪去。
在场估计没人不紧张，哦，盛明安除外，任何重大科学工程验收阶段，他都表现得非常淡定，好像一个局外人，让人即羡慕又嫉妒。
程院长看了眼右边的电子表，此刻时间是19点42分31秒。
他轻声说：“开始吧。”
顿了顿，程院长说：“盛工，你来吧。”
“唔？”盛明安有点诧异，老实说程院长无论资历还是辈分都比他高几轮，被长辈喊‘盛工’、谦让，他不太好意思：“您喊我名字就行。光源系统的研发也有您的一份力，还是您来。”
程院长摆摆手笑着拒绝：“我这辈子扛过不少科学大工程的验收阶段，不至于跟年轻人抢一个光源系统的实验验收。再说光源系统主要是你一手策划完成，我只是个半路杀出的辅助，行了别推辞，再推让下去该下班了。”
行吧。盛明安点点头，示意身后研发团队各就各位，紧盯前方全套的光源系统设备，沉着冷静的说：“开始验收。准备——”
“已启动数据记录，光源验收记录，功率消耗记录。”
“靶材装置确定装载完毕。”
“电源确定。”
“三万瓦二氧化碳脉冲激光器进入预热状态。”
“……”
接二连三的报告在空旷苍白寂静的实验室中此起彼伏，每一句报告简短有力，错落有序，整洁飞快，无端感染在场其他等待验收成果的研发团队成员紧张期待的心情。
“启动二氧化碳脉冲激光器！”
话音一落，盛明安按下开关按钮，众人抬头看向前方恒温无尘实验室内的光源系统设备，一尘不染的银白色设备在冷光下散发出奇妙无机质的机械美。
机械表面很平静，盛明安等人看不到内部正在发生的变化，他们只能通过最终结果判断是否成功，而过程很短暂、很快速，快到频率一秒五万次！
盛明安的黑科技系统可以窥探机械内部的变化，它切换视角帮助盛明安进入光源系统设备内部查看实验。
视角先是银白色的机械，瞬间穿入内部复杂得宛如一个巨大的机械加工厂的设备，时间和空间被虚化，内部一片黑暗，若鸿蒙未开的混沌宇宙。
突然前方一个闪亮的光点，先是四条头发丝大小的曲线包围成一个圆圈，圆圈中心一点亮光逐渐向外扩张，由圆点扩张成椭圆形，光越来越盛、越来越亮，猛然爆发出闪亮耀眼的白光，瞬间照亮黑暗的内部，一条细长发亮的紫光倏然蹿出发光口，通过圆形长管，进入光束矫正器，通过能量转换器……
最终击中直径30μm的靶材料（锡液滴）。
视角追随其中一条光线，忽然向后拉远，视角范围内出现数以万计的紫色细长光线穿过一个又一个圆形长管最后以平均两次击中同一靶材料电离锡原子，释放等离子体，激发纳米级光子，完成光刻机的曝光步骤。
视角再向后拉远，饶是有着先进两百年的科技技术的系统也不由为这号称工业皇冠的euv工作时的内部所震撼。
激光经过多重反射镜均匀化、收集，投影掩膜，击中靶材料，获取需求中的等离子体。
接下来是利用收集镜收集等离子体发散的euv辐射汇聚成光源发送至光刻系统，并经由曝光系统获取最终的ic晶圆。
但盛明安的团队没有做后面的两步，只设计了光源系统的实验设计。
一秒钟五万次的高频率，不仅需要确保过程不出错，还必须保证准度、精确度，可量产，以及功率利用最大化等等……
所以一次的实验结果不能证明什么，他们连续实验多次，记录数据作比对，计算出一个最优概率。
键盘噼里啪啦的计算，所有人屏息以待。
助手姑娘猛然掐住杜颂的胳膊，龇牙咧嘴：“giao！怎么样了？！”
杜颂也疼得龇牙咧嘴，差点猛男落泪：“我不知道。”
助手姑娘又没想要他回答，眼睛悄悄溜向盛明安，内心呜呜穿防尘服的盛工就算从头包到脚还是无比帅气，所以快点告诉她结果吧！
盛明安：“各组报告结果。”
来了！
众人振奋！
一组报告：“二氧化碳脉冲激光器无损，功率消耗在预估范围内，光线利用率成功达到2%！”
二组报告：“散热系统启动！散热功能正常！”
三组报告：“传感器反馈激光和液滴同步对准，激光等离子体在预估范围内捕获！”
四组报告……
随着一个又一个与仿真预估无二的报告传入众人耳中，预示着光源系统设备实验验收圆满完成！
众人憋着一口气没出声，就等着盛明安总结。
盛明安不负众望，听完各组结果报告，对着扩音器宣布：“高阶光刻机光源系统技术研究项目圆满通过验收，”他稍稍提高音量，“我们的科研项目，激光等离子体极紫外光刻光源是——”
“13.5nm！”
原本想欢呼的众人脸上刚升起的笑容陡然僵住，瞳孔逐渐放大，呼吸急促，不敢置信，纷纷以为自己的耳朵坏了，他们出现了幻听。
盛明安语气里流泻出轻松的笑意：“恭喜大家。”
见众人没反应，他回头，疑惑：“你们不满意吗？”
林成建也懵了，小心翼翼地询问：“盛工，你刚才说13.5nm……不是16nm？”
同盛明安争论了将近半个月早已震惊过的程院长好笑地环顾众人表现不一的样子。
雷客比林成建还小声轻柔：“比asml euv的14nm还精确了0.5nm？”
杜颂捂着心脏，喃喃说道：“不是吧……我整天研究的就是这么牛逼的玩意？”
助理姑娘掐得更狠了，但杜颂激动的灵魂和兴奋的神经可以抚平身体的疼痛。
“啊，”盛明安下意识看向陈惊璆：“你们都有异议吗？”
陈惊璆惊讶过后便是一笑：“没有异议。他们惊喜过头了。”
盛明安又看向林成建等人，谁知他们面面相觑，陷入沉默，一秒、两秒、三秒……“啊啊啊啊——！！！”
猛然爆发的尖叫声继续震破实验室的天花板，要不是固化玻璃隔绝了噪声污染不会影响到实验室设备，热爱实验室设备的盛明安就该拉下脸，而负责掏钱买设备的陈惊璆应该会冷脸赶人出去了。
但无伤大雅的此刻，他们纵容每一个团队成员尽情放纵无以言表的兴奋和激动。
激光器信号增益与气体压力成反比的前提下,系统可考虑使用快横流co2技术。
其次是光源优化。
基于粒子群优化算法,公式v^(k 1)=wv^(k)……
光源与掩膜、光源归一化……
“明安？……盛明安？”
盛明安回神，对上陈惊璆沉静墨黑的眼睛，食指轻轻挠了挠脸颊问：“有事吗？”
陈惊璆无奈：“休息时间也能走神？”
盛明安：“在想激光器结构和光源优化的算法。”
陈惊璆：“休息就是让大脑放空、放轻松,你看林成建他们一到休息室就喝茶八卦，绝口不提科研项目。”
盛明安回头一看才发现林成建他们都走了。
“他们刚刚在讨论双工作台研发团队，互相攀比，我觉得压力太大，所以不想听。”
陈惊璆盯着盛明安，几秒后下结论：“撒谎。你恐怕不知道压力两个字怎么写。”
盛明安撑着头直视陈惊璆的目光，眉眼弯弯：“我真的有压力,六月提交提前毕业申请，时间上来不及修补剩下的两年学分，只能尽快解决光源系统,靠这个让学校网开一面，同意你我以特殊人才的身份补完学分。”
陈惊璆拿起手肘边的白瓷杯子倒黑咖啡,一边操作咖啡机一边说：“不用算我,我学分修得差不多了。”
盛明安愣住：“你哪来的时间修学分？”
陈惊璆失笑：“我不像你必须整天泡在实验室里跟研发进度,除了工作上一些事需要处理,其他时间很闲的。”
是吗？盛明安有些怀疑，他一直以为陈惊璆很忙。
事实是陈惊璆不像他嘴上说的那么闲，他只是善于利用每一分每一秒，懂得如何处理两件同等级重要的事在时间与空间上发生不相容的矛盾。
事关情商,以及一种从缝隙中挣扎着艰难求生而练就的本领，那是简单透明的盛明安学不来、也不能懂的。
陈惊璆伸出手，说：“保温杯给我，我帮你重新沏壶茶。”
盛明安的目光落在陈惊璆摊开的手掌，掌心白皙干净，掌纹清晰，纹路很深，代表感情线的纹路长得深入食指和中指中间的缝隙。
感情线的纹路越深、越长，代表其主人越情深意重。
盛明安将手肘边的保温杯递给陈惊璆，后者接过去，打开盖子倒出里面没滤干净的茶渣，然后从茶水柜里重新翻出几罐不知什么品种的茶叶。
什么茶叶该抓多一点，什么该抓少一点，陈惊璆好像拿了把称称过一样，抓好后放进过滤包，开热水冲泡一遍，倒掉，再冲泡，动作行云流水。
挽到手肘处的袖口不小心掉下来，陈惊璆随手捋回去，腕骨还是很突出，瘦得嶙峋锋利，却不缺乏力量感。
盛明安眨了眨眼睛，在陈惊璆递来保温杯时，忽然握住陈惊璆的手腕，发现还差一大截才能完全圈住。
他手指已经够修长了，谁知还是圈不住陈惊璆的手腕。
怪不得陈惊璆的手腕看上去那么瘦却仍饱含力量，因为骨骼大，覆着一层精瘦的皮肉，所以看上去格外锋利。
陈惊璆呼吸一窒，喉结滚动：“你……干什么？”
盛明安抬头：“我圈不住。”
距离挺近的，陈惊璆晃神。
盛明安这两年长开了，从少年成长为身形修长挺拔的青年，面孔更加艳丽，眉眼精雕细琢似的，乍然靠近会被这股靡丽清冷冲击得神魂颠倒。
盛明安觉得没什么趣味便要缩回手，陈惊璆突然拽住他的手，柔软白皙，有点干燥，骨肉均匀，指尖泛着健康的粉色，他情不自禁就想亲吻这漂亮可爱的手指指尖。
“陈惊璆？”
连唤了几声，陈惊璆才从旖旎的情思中回神，对上盛明安疑惑的目光，若无其事的放下他的手：“突然碰我手腕被痒到了，条件反射。”
“哦。”盛明安没怀疑什么，接过保温杯，捏了捏有点酸的肩膀，同陈惊璆说：“光源系统研发到关键时刻，我就不去午休浪费时间了。”
陈惊璆的心脏还滚烫着，闻言没有多加挽留劝阻，点头应和一句我也去忙手里的活。
两人一起离开茶水间，前往地下实验室，途中看到计海从办公室里行色匆匆出来，进入电梯回到一楼，估计是又翘班离开。
盛明安：“计海这人不尽快处理掉吗？”
计海几个月没跟郑河联系，他们一致猜测是郑河不觉得蓝河科技会对鸿芯产生威胁，因此放弃窃取蓝河科技核心技术，同时放弃计海这颗棋子。
但陈惊璆至今没处理掉计海，盛明安有些不解。
“他在也不碍事。”陈惊璆说：“而且我希望能物尽其用。”
言下之意，现在弄走计海不能利益最大化。
盛明安‘哦’了声，想起什么似的，提醒道：“陈天鹤跟鸿芯可能有点关系。”
陈惊璆侧过脸，目光有些锐利：“明安怎么知道？”
明安？
没人这么喊过他，但最近陈惊璆几次脱口而出都这么喊，脱掉一个姓氏只喊名字显得无比亲近暧昧。
盛明安回他：“前年外公公司董事强烈要求投资鸿芯，所以我留意到鸿芯的同时，也发现陈天鹤和鸿芯的关系有些奇怪。我怀疑，陈天鹤很可能是鸿芯幕后老板。”
他当然不能说是系统告诉他这个秘密。
陈惊璆低声：“只要你注意到，果然就瞒不过你。”
这话的意思是他也早就察觉到陈天鹤和鸿芯之间的关系？
陈惊璆：“你放心，我早有防备。”
盛明安回应了声，挥挥手，去换了一身进无尘恒温实验室的装备，进入实验室。陈惊璆也进去忙碌了一阵，期间被林成建喊出来。
林成建：“曹书记找你。”
陈惊璆摘下面罩和口罩，脱手套的动作一顿，“津市市委副书记曹文翰？”
林成建：“对。”
陈惊璆脑子里梳理了一遍近来发生的事，最终笑说：“看来鸿芯撑不下去就快宣告破产了。陈天鹤居然连做个样子也没有就直接放弃，不过曹文翰找到蓝河科技，应该是鸿芯破产的风波波及面超过我们当初的预估。”
他对陈天鹤非常了解，知道这个人唯利是图，不可能真费力烧钱搞光刻机。
鸿芯和革芯又是同行项目，他一直暗中关注鸿芯项目的研发进度，而且非常清楚对方光刻机的研发进度，毕竟不是只有郑河想得出卧底这一招。
鸿芯会破产，早晚的事。
脱掉手套和身上的实验服，整齐挂好，标上名牌，关上柜门，陈惊璆套上一件薄款休闲西装外套，大步向外走去。
“曹文翰走上蓝河科技，应该有人指点。”林成建说。
陈惊璆：“陈天鹤肯定是其中一个。”
两人一前一后回到顶楼见亲自来访的曹文翰，办公室大门关起来，双方不知道在里头谈了什么。等日头渐渐西斜，曹文翰才满面春风的出来，同送他到电梯门口的陈惊璆握手就走了。
曹文翰访问蓝河科技，没怎么惊动别人，但回去市政府大楼便着手处理鸿芯落下来的一系列麻烦，动作雷厉风行，甚至有点破罐破摔无所谓津市半导体产业的发展，不再急于周旋美国商务部。
一时间更是人心惶惶。
***
五月初，鸿芯苦苦支撑，卖掉价值4亿的光刻机，抵押设备和土地，缓解资金困窘，但芯片断供一日未解决，就是再多钱填进去也毫无用处。
同样受芯片断供拖累的公司还有华兴，以及其他诸多下游产业。
半导体业界内其他关联公司眼看华兴和鸿芯被美国商务部简单一个芯片出口禁令就狼狈至此，不由产生唇亡齿寒之感，因此私底下悄悄出力，尽量拖延生存时间。
水木大学的教授研发出光刻机双工作台这一消息传出，成为业界一剂振奋剂，为萎靡不振的华国半导体产业注入一点蓬勃的力量。
五月底，蓝河科技实验室内，光源系统进入验收阶段。
与春城光机所合作，由春城光机所入股的国科精密提供的光学系统（一系列精密镜头、反射镜和透镜等光学元件系统），在此光学系统的基础上进行光源系统的实验验收。
盛明安担任该光源系统总工程师，左手旁是程院长，右手是陈惊璆，身后分别是雷客一行人以及程院长带来的研发团队。
原本光源系统研发进程没这么快，但有了程院长的研发团队便如虎添翼，进程迅速缩短一半。
现在正是光源系统的验收时刻，不是在电脑软件上运行的仿真建模，而是真实设备的光源系统实验验收阶段！
雷客紧张的吞咽口水，眼角余光瞥见杜颂这家伙紧张得手臂打摆！
真没出息！
他这么想着，浑然不知道自己的表现也好不到哪去。
在场估计没人不紧张，哦，盛明安除外，任何重大科学工程验收阶段，他都表现得非常淡定，好像一个局外人，让人即羡慕又嫉妒。
程院长看了眼右边的电子表，此刻时间是19点42分31秒。
他轻声说：“开始吧。”
顿了顿，程院长说：“盛工，你来吧。”
“唔？”盛明安有点诧异，老实说程院长无论资历还是辈分都比他高几轮，被长辈喊‘盛工’、谦让，他不太好意思：“您喊我名字就行。光源系统的研发也有您的一份力，还是您来。”
程院长摆摆手笑着拒绝：“我这辈子扛过不少科学大工程的验收阶段，不至于跟年轻人抢一个光源系统的实验验收。再说光源系统主要是你一手策划完成，我只是个半路杀出的辅助，行了别推辞，再推让下去该下班了。”
行吧。盛明安点点头，示意身后研发团队各就各位，紧盯前方全套的光源系统设备，沉着冷静的说：“开始验收。准备——”
“已启动数据记录，光源验收记录，功率消耗记录。”
“靶材装置确定装载完毕。”
“电源确定。”
“三万瓦二氧化碳脉冲激光器进入预热状态。”
“……”
接二连三的报告在空旷苍白寂静的实验室中此起彼伏，每一句报告简短有力，错落有序，整洁飞快，无端感染在场其他等待验收成果的研发团队成员紧张期待的心情。
“启动二氧化碳脉冲激光器！”
话音一落，盛明安按下开关按钮，众人抬头看向前方恒温无尘实验室内的光源系统设备，一尘不染的银白色设备在冷光下散发出奇妙无机质的机械美。
机械表面很平静，盛明安等人看不到内部正在发生的变化，他们只能通过最终结果判断是否成功，而过程很短暂、很快速，快到频率一秒五万次！
盛明安的黑科技系统可以窥探机械内部的变化，它切换视角帮助盛明安进入光源系统设备内部查看实验。
视角先是银白色的机械，瞬间穿入内部复杂得宛如一个巨大的机械加工厂的设备，时间和空间被虚化，内部一片黑暗，若鸿蒙未开的混沌宇宙。
突然前方一个闪亮的光点，先是四条头发丝大小的曲线包围成一个圆圈，圆圈中心一点亮光逐渐向外扩张，由圆点扩张成椭圆形，光越来越盛、越来越亮，猛然爆发出闪亮耀眼的白光，瞬间照亮黑暗的内部，一条细长发亮的紫光倏然蹿出发光口，通过圆形长管，进入光束矫正器，通过能量转换器……
最终击中直径30μm的靶材料（锡液滴）。
视角追随其中一条光线，忽然向后拉远，视角范围内出现数以万计的紫色细长光线穿过一个又一个圆形长管最后以平均两次击中同一靶材料电离锡原子，释放等离子体，激发纳米级光子，完成光刻机的曝光步骤。
视角再向后拉远，饶是有着先进两百年的科技技术的系统也不由为这号称工业皇冠的euv工作时的内部所震撼。
激光经过多重反射镜均匀化、收集，投影掩膜，击中靶材料，获取需求中的等离子体。
接下来是利用收集镜收集等离子体发散的euv辐射汇聚成光源发送至光刻系统，并经由曝光系统获取最终的ic晶圆。
但盛明安的团队没有做后面的两步，只设计了光源系统的实验设计。
一秒钟五万次的高频率，不仅需要确保过程不出错，还必须保证准度、精确度，可量产，以及功率利用最大化等等……
所以一次的实验结果不能证明什么，他们连续实验多次，记录数据作比对，计算出一个最优概率。
键盘噼里啪啦的计算，所有人屏息以待。
助手姑娘猛然掐住杜颂的胳膊，龇牙咧嘴：“giao！怎么样了？！”
杜颂也疼得龇牙咧嘴，差点猛男落泪：“我不知道。”
助手姑娘又没想要他回答，眼睛悄悄溜向盛明安，内心呜呜穿防尘服的盛工就算从头包到脚还是无比帅气，所以快点告诉她结果吧！
盛明安：“各组报告结果。”
来了！
众人振奋！
一组报告：“二氧化碳脉冲激光器无损，功率消耗在预估范围内，光线利用率成功达到2%！”
二组报告：“散热系统启动！散热功能正常！”
三组报告：“传感器反馈激光和液滴同步对准，激光等离子体在预估范围内捕获！”
四组报告……
随着一个又一个与仿真预估无二的报告传入众人耳中，预示着光源系统设备实验验收圆满完成！
众人憋着一口气没出声，就等着盛明安总结。
盛明安不负众望，听完各组结果报告，对着扩音器宣布：“高阶光刻机光源系统技术研究项目圆满通过验收，”他稍稍提高音量，“我们的科研项目，激光等离子体极紫外光刻光源是——”
“13.5nm！”
原本想欢呼的众人脸上刚升起的笑容陡然僵住，瞳孔逐渐放大，呼吸急促，不敢置信，纷纷以为自己的耳朵坏了，他们出现了幻听。
盛明安语气里流泻出轻松的笑意：“恭喜大家。”
见众人没反应，他回头，疑惑：“你们不满意吗？”
林成建也懵了，小心翼翼地询问：“盛工，你刚才说13.5nm……不是16nm？”
同盛明安争论了将近半个月早已震惊过的程院长好笑地环顾众人表现不一的样子。
雷客比林成建还小声轻柔：“比asml euv的14nm还精确了0.5nm？”
杜颂捂着心脏，喃喃说道：“不是吧……我整天研究的就是这么牛逼的玩意？”
助理姑娘掐得更狠了，但杜颂激动的灵魂和兴奋的神经可以抚平身体的疼痛。
“啊，”盛明安下意识看向陈惊璆：“你们都有异议吗？”
陈惊璆惊讶过后便是一笑：“没有异议。他们惊喜过头了。”
盛明安又看向林成建等人，谁知他们面面相觑，陷入沉默，一秒、两秒、三秒……“啊啊啊啊——！！！”
猛然爆发的尖叫声继续震破实验室的天花板，要不是固化玻璃隔绝了噪声污染不会影响到实验室设备，热爱实验室设备的盛明安就该拉下脸，而负责掏钱买设备的陈惊璆应该会冷脸赶人出去了。
但无伤大雅的此刻，他们纵容每一个团队成员尽情放纵无以言表的兴奋和激动。
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