在有材料与设备,以及冯承铭这位光刻院士的主导下,芯片光刻过程异常迅速。
五片国产硅片光刻前,需要经历清洗步骤,去除表面的灰尘、污染物与残留物。
具体做法是先用湿法清洗一遍,再用去离子水清洗,最后再用六甲基二硅胺烷气体熏蒸,使硅片表面完全脱水。
只有经过两道清洗步骤,一道熏蒸步骤,才能让半导体硅片达到它本身的11N纯净度,这也是光刻前的关键。
别看操作的都是学生,有时候学生更能严谨操作。
更别提有冯承铭监工,他们可根本不敢有半点偷懒。
在熏蒸结束以后,五块半导体硅片被放入传送机器,送往光刻机内部光刻区域。
冯承铭也早早换好了第一块光掩膜版,随着设备的启动,涂胶设备开始自动为硅片涂胶,并进行边缘胶体修正。
芯片生产步骤大致分为,清洗、涂胶、烘烤、光刻曝光、PEB后烘烤,图形溶解等。
因为要使用“多重曝光技术”,生产步骤还要重复一遍,繁琐程度大大提升。
不过!
冯承铭也算是熟手了,生产步骤根本难不倒他。
再怎么说,他也是跟红色品质光刻人才林天学过的,算得上是“亲传弟子”。
一个半小时后,五块12寸半导体硅片已经全部刻满电路图案,等待切片封装。
使用专业设备分割切片后,一位负责芯片检测的学生立马使用检测仪器测试。
片刻后。
他神色一变,连忙来到冯承铭面前道:“老师,这些半导体硅片似乎有点不对劲!”
“什么?”
冯承铭瞪大了眼。
他没有管被吓到的学生,而是火急火燎地来到测试设备查看具体数值,顿时整个人愣住了三秒,不可思议道:
“天啊!同样的生产步骤,为什么轻舟芯片的功耗会下降,性能却提升了,陈星,你究竟对半导体硅片做了什么改良!”
没想到!
所有人都没预料到!
这五片11N纯净度,12寸半导体硅片有这等效果,这是颠覆他们认知的新型技术。
丝毫不夸张的说,这件事要是传出去,芯片生产领域的博主完全可以用这个当做论文主题,顺利完成论文答辩。
史无前例!
遥遥领先!
冯承铭深呼吸一口气,目光看向周围的几个博士生,语重心长道:“这件事不能传出去,嘴巴都给我缝上,但凡走漏风声,你们只能止步硕士学历了。”
威胁,赤裸裸的威胁!
但他没办法,这件事事关重大,在没有搞清楚前,绝不能让西方知道一丁点消息。
一旦西方得知,龙国企业已经完成了12寸半导体硅片制造,还用了某种不知名技术,让芯片性能进一步提升,以它们尿性肯定又是满城风雨,大动干戈。
“明白了老师。”
“放心,我们嘴巴很严的。”
“对对对!”
几名博士学生连忙保证,本来他们毕业就难,要是还被院士卡住的话,自然而然的,求学之路就走到尽头了。
“嗯。”
冯承铭点了点头,继续说道:“继续工作吧,待会封装完成,还要统计单片良品率。”
……
另一边。
魔都花开生态公园。
数百位龙芯国际工程师,此刻正在烤肉狂欢,因为只有极少数人知道今晚为什么搞团建,他们也能放开了玩。
至于那十几位荷兰“活体监控”工程师,高永明与两位副总则是亲自招待畅聊。
一连数个小时过去,隐约间就有荷兰工程师发现不对劲,小声找到同伴商量。
“兄弟你有没有发现,今晚高永明好像有些反常,他都喝到站不稳了还要喝。”
“好像…”
被问到的另一位荷兰工程师顿了顿,连忙反应过来道:“他好像确实有点反常。”
“而且平时他对我们可没什么好脸色,今晚却额外热情,还点名让好好喝一杯。”
“会不会…”
“不是会不会,应该是了!”
“那我回去一趟?”
“偷偷离开,最好可以抓现行,伱应该懂我意思吧?”
“我知道该怎么做。”
几位荷兰工程师密谋一番,也开始不动声色去拖延,有一位则是假借上厕所的名义开溜。
为了拖住这群“活体监控”,高永明已经忘记喝了多少酒,如果现在让他走直线,他肯定完成不了,不过脑袋却格外清醒。
荷兰工程师刚想借尿遁,还没走出几步就被副总李正德盯上,连忙喊道:“斯坦利先生要去哪?公厕可不是这个方向呀。”
斯坦利愣住半秒,转过身假装踉跄道:“我想我已经不能再喝了,需要回家休息。”
“我亲自送你去附近酒店?”
“不了,我还是回家休息吧,就不麻烦李副总了。”
“哎!可不能这样说,你这样晕乎乎的状态,我怎么可以放心你一个人回家,这样,我亲自开车送你回去怎么样?”
李正德越是这样,斯坦利越觉得有问题。
他索性也不装了,开门见山道:“既然副总强烈要求,那这样吧,你送我回公司一趟,我有份文件遗留在生产工厂了。”
话音落下。
形势瞬间被动起来。
冯承铭还没有给高永明发信息,可能还在生产,现在可不能让斯坦利回去。
他今晚滴酒未沾,就是防止荷兰工程师要走的。
“你看天色…”
“不!”
李正德话音未落,斯坦利就摇头说道:“那份文件很重要,既然李副总要送我,那不如好人做到底,我们就一起回公司吧。”
陷入被动的李正德有些慌了,现在龙芯国际的生产工厂可是在偷偷生产芯片的,如果被撞见,一切努力都将化为泡沫。
见李正德这副模样,斯坦利已经确定工厂有异常,也不等表态,自己径直前往打车离开。
见拦不住,李正德连忙向还在灌酒的高永明报告,后者闻言,大脑瞬间清醒了。
“回去!”
“立马回去!”
霎时间。
高永明火急火燎辞别。
其他荷兰工程师也纷纷察觉到异常,几乎是瞬间,高层这边都往生产工厂赶去。
高永明数次拨打冯承铭电话,却迟迟没有接听,极大可能还在洁净室生产芯片。
“出事了!”
“我们现在怎么办?”
充当司机的李正德连忙询问。
高永明目光闪过抹厉色,沉声道:“现在只能牺牲你的驾照了,以最快的速度赶回生产工厂那边,有什么事我来担责。”
龙兴科技、鲲鹏公司、北械集团等国产联盟都在努力,龙芯国际绝对不能拖后腿。
李正德闻言也顾不得三七二十一了,一脚油门就直飙车,他年轻的时候可是赛车手。
不到十五分钟。
他们率先抵达生产工厂。
然而前脚刚走进,不到一分钟的时间,休病假的另一位荷兰工程师就抵达了工厂。
本来他是生病了,请了三天假期休息,现在事发突然,被斯坦利喊了回生产工厂查看。
两波人马,一前一后。
守在门口的李正德见生病的图奇突然出现,连忙上前想阻拦,可被直接野蛮推开。
“狡猾的龙国人,就是你们给龙兴科技生产芯片的对吧?”
图奇大步往里走。
荷兰工程师个个人高马大,被派往龙国企业时,荷兰ASML公司就考虑过这种情况。
一次拦不住,李正德再次上前想要阻拦,却被推翻在地,体型完全不是一个量级的。
小小的工程师,完全不把千亿市值公司副总放在眼里,龙芯国际属实独一份。
不过没办法。
设备被人家掐住命脉了。
陆陆续续,十几位荷兰工程师都抵达生产工厂,他们全部都直奔生产工厂各个出口,不让里面的人出来。
因为喝多,高永明踉踉跄跄摔倒数次,十分狼狈,很轻松就被图奇给追上脚步。
“高总走得这么急,难道是工厂进贼了吗?”
图奇略带玩味道。
高永明摇了摇脑袋想醒酒,但酒精上头让他只想倒头就睡,可意志力告诉他不能睡。
龙兴科技能顶住压力,研制出12寸半导体硅片,陈星也敢顶在最前面挨打,他龙芯国际高永明为什么不行?
下定决心的他用力咬了舌尖,一股刺痛让他瞬间清醒,踉踉跄跄站起身道:“我…我有一份文件,不对,设备忘记关了。”
“哦?”
图奇冷笑一声,继续说道:“既然如此,那我们一同进去,帮高总你关设备吧。”
高永明心生悲意,但也无奈,只能一同走进生产工厂。
图奇见高永明脸色难看,已经断定龙芯国际私自使用了光刻机,只要上报给总部,或许轻舟芯片生产之谜就解开了。
当他走进更衣间,穿好防尘服打开光刻机洁净室隔离门那刻,顿时愣了数秒。
空无一人!
设备都处于断电状态。
“怎么会这样?”
图奇不敢相信自己眼睛,走进去检查设备。
光刻机没有生产温度。
生产材料也没有减少。
各个设备历史数据,同样显示这段时间没有生产。
高永明默默退出洁净室,回到更衣室拿出手机,通知栏有三条冯承铭发来的微信消息。
原来在他们走进园区时,冯承铭这边刚好完成裸片封装,并收拾好场地。
李正德阻拦图奇时,冯承铭的一位学生就在监控室,看见了画面并跑去报告。
得知消息后,冯承铭带着学生们紧急往另外出口走,并直奔高永明的办公室。
李正德和高永明短暂的拖延,让他们顺利脱身。
也幸好是冬天,外加仅仅只有五片半导体硅片,设备运行时的温度很快就冷却下来了,图奇也没有发现异常。
十几位荷兰工程师见图奇没找到蛛丝马迹,也纷纷走进洁净室,寻找遗漏的地方。
今晚的龙芯国际太可疑了,他们不得不重点检查。
可检查了一圈发现,今晚光刻机确实没启动,而且原材料也没有丢失,甚至连六甲基二硅胺烷气体都没有减少。
“这…”
因为仗着有理,高永明冷哼一声道:“图奇先生,我想你需要给我个完美的解释,你现在的样子,可没有半点生病的迹象。”
“老总,李副总被送医院了,刚才查监控,是图奇工程师将他推倒在地,磕到头。”
另一位副总连忙报告。
说话时,他给高永明使了个眼色,这让后者立马反应过来,原来是做戏做全套。
正好可以借此机会,向荷兰ASML公司施压,清一清这十几位活体监控。
图奇脸色瞬间煞白,其他荷兰工程师也懵了,把人推住院,要不要这么暴力?
“高总你听我解释…”图奇刚想解释,高永明冷哼道:“不用解释了,我会向你们老总说明情况,我醉了需要休息,你们喜欢检查,那你们就继续检查吧。”
在找了个理由后,他立马回到自己办公室。
因为是千亿集团,他的办公室是有休息单间的,也没有人会怀疑他回办公室的动机。
回到自己老总办公室,他立马反锁房门,躲在里间的冯承铭见是高永明,连忙出来报喜道:
“成了!龙兴科技的这五片半导体硅片,良品率提高了11%,达到了97%,而且生产的裸片性能还有小幅度提升,功耗下降了1W,性能提升了10%,这是前所未有的改良版半导体硅片!”
“什么???”
高永明扯着嗓子询问。
本来今晚他就喝多了,现在整个人都昏昏沉沉。
听见97%良品率,芯片性能还能通过硅片提升,他现在整个人是懵上加懵。
“嘘!”
冯承铭做了个嘘的手势,继续说道:“是真的,我们已经测试了,这批芯片性能不是个例,而是都有提升。”
“我猜测…”
“问题出自半导体硅片上!”
“草!”
高永明酒精已经彻底上头,继续扯着嗓子道:“新工艺的半导体硅片,陈星你小子真牛逼……”
“噗通——”
最后的牛逼只念了一半,他就承受不住,倒在地上呼呼大睡,嘴里还念叨着:
“新工艺硅片…”
“陈星我要订一百万片,不,不对,我要一千万…我要…我要…我还要继续订……”
(本章完)
五片国产硅片光刻前,需要经历清洗步骤,去除表面的灰尘、污染物与残留物。
具体做法是先用湿法清洗一遍,再用去离子水清洗,最后再用六甲基二硅胺烷气体熏蒸,使硅片表面完全脱水。
只有经过两道清洗步骤,一道熏蒸步骤,才能让半导体硅片达到它本身的11N纯净度,这也是光刻前的关键。
别看操作的都是学生,有时候学生更能严谨操作。
更别提有冯承铭监工,他们可根本不敢有半点偷懒。
在熏蒸结束以后,五块半导体硅片被放入传送机器,送往光刻机内部光刻区域。
冯承铭也早早换好了第一块光掩膜版,随着设备的启动,涂胶设备开始自动为硅片涂胶,并进行边缘胶体修正。
芯片生产步骤大致分为,清洗、涂胶、烘烤、光刻曝光、PEB后烘烤,图形溶解等。
因为要使用“多重曝光技术”,生产步骤还要重复一遍,繁琐程度大大提升。
不过!
冯承铭也算是熟手了,生产步骤根本难不倒他。
再怎么说,他也是跟红色品质光刻人才林天学过的,算得上是“亲传弟子”。
一个半小时后,五块12寸半导体硅片已经全部刻满电路图案,等待切片封装。
使用专业设备分割切片后,一位负责芯片检测的学生立马使用检测仪器测试。
片刻后。
他神色一变,连忙来到冯承铭面前道:“老师,这些半导体硅片似乎有点不对劲!”
“什么?”
冯承铭瞪大了眼。
他没有管被吓到的学生,而是火急火燎地来到测试设备查看具体数值,顿时整个人愣住了三秒,不可思议道:
“天啊!同样的生产步骤,为什么轻舟芯片的功耗会下降,性能却提升了,陈星,你究竟对半导体硅片做了什么改良!”
没想到!
所有人都没预料到!
这五片11N纯净度,12寸半导体硅片有这等效果,这是颠覆他们认知的新型技术。
丝毫不夸张的说,这件事要是传出去,芯片生产领域的博主完全可以用这个当做论文主题,顺利完成论文答辩。
史无前例!
遥遥领先!
冯承铭深呼吸一口气,目光看向周围的几个博士生,语重心长道:“这件事不能传出去,嘴巴都给我缝上,但凡走漏风声,你们只能止步硕士学历了。”
威胁,赤裸裸的威胁!
但他没办法,这件事事关重大,在没有搞清楚前,绝不能让西方知道一丁点消息。
一旦西方得知,龙国企业已经完成了12寸半导体硅片制造,还用了某种不知名技术,让芯片性能进一步提升,以它们尿性肯定又是满城风雨,大动干戈。
“明白了老师。”
“放心,我们嘴巴很严的。”
“对对对!”
几名博士学生连忙保证,本来他们毕业就难,要是还被院士卡住的话,自然而然的,求学之路就走到尽头了。
“嗯。”
冯承铭点了点头,继续说道:“继续工作吧,待会封装完成,还要统计单片良品率。”
……
另一边。
魔都花开生态公园。
数百位龙芯国际工程师,此刻正在烤肉狂欢,因为只有极少数人知道今晚为什么搞团建,他们也能放开了玩。
至于那十几位荷兰“活体监控”工程师,高永明与两位副总则是亲自招待畅聊。
一连数个小时过去,隐约间就有荷兰工程师发现不对劲,小声找到同伴商量。
“兄弟你有没有发现,今晚高永明好像有些反常,他都喝到站不稳了还要喝。”
“好像…”
被问到的另一位荷兰工程师顿了顿,连忙反应过来道:“他好像确实有点反常。”
“而且平时他对我们可没什么好脸色,今晚却额外热情,还点名让好好喝一杯。”
“会不会…”
“不是会不会,应该是了!”
“那我回去一趟?”
“偷偷离开,最好可以抓现行,伱应该懂我意思吧?”
“我知道该怎么做。”
几位荷兰工程师密谋一番,也开始不动声色去拖延,有一位则是假借上厕所的名义开溜。
为了拖住这群“活体监控”,高永明已经忘记喝了多少酒,如果现在让他走直线,他肯定完成不了,不过脑袋却格外清醒。
荷兰工程师刚想借尿遁,还没走出几步就被副总李正德盯上,连忙喊道:“斯坦利先生要去哪?公厕可不是这个方向呀。”
斯坦利愣住半秒,转过身假装踉跄道:“我想我已经不能再喝了,需要回家休息。”
“我亲自送你去附近酒店?”
“不了,我还是回家休息吧,就不麻烦李副总了。”
“哎!可不能这样说,你这样晕乎乎的状态,我怎么可以放心你一个人回家,这样,我亲自开车送你回去怎么样?”
李正德越是这样,斯坦利越觉得有问题。
他索性也不装了,开门见山道:“既然副总强烈要求,那这样吧,你送我回公司一趟,我有份文件遗留在生产工厂了。”
话音落下。
形势瞬间被动起来。
冯承铭还没有给高永明发信息,可能还在生产,现在可不能让斯坦利回去。
他今晚滴酒未沾,就是防止荷兰工程师要走的。
“你看天色…”
“不!”
李正德话音未落,斯坦利就摇头说道:“那份文件很重要,既然李副总要送我,那不如好人做到底,我们就一起回公司吧。”
陷入被动的李正德有些慌了,现在龙芯国际的生产工厂可是在偷偷生产芯片的,如果被撞见,一切努力都将化为泡沫。
见李正德这副模样,斯坦利已经确定工厂有异常,也不等表态,自己径直前往打车离开。
见拦不住,李正德连忙向还在灌酒的高永明报告,后者闻言,大脑瞬间清醒了。
“回去!”
“立马回去!”
霎时间。
高永明火急火燎辞别。
其他荷兰工程师也纷纷察觉到异常,几乎是瞬间,高层这边都往生产工厂赶去。
高永明数次拨打冯承铭电话,却迟迟没有接听,极大可能还在洁净室生产芯片。
“出事了!”
“我们现在怎么办?”
充当司机的李正德连忙询问。
高永明目光闪过抹厉色,沉声道:“现在只能牺牲你的驾照了,以最快的速度赶回生产工厂那边,有什么事我来担责。”
龙兴科技、鲲鹏公司、北械集团等国产联盟都在努力,龙芯国际绝对不能拖后腿。
李正德闻言也顾不得三七二十一了,一脚油门就直飙车,他年轻的时候可是赛车手。
不到十五分钟。
他们率先抵达生产工厂。
然而前脚刚走进,不到一分钟的时间,休病假的另一位荷兰工程师就抵达了工厂。
本来他是生病了,请了三天假期休息,现在事发突然,被斯坦利喊了回生产工厂查看。
两波人马,一前一后。
守在门口的李正德见生病的图奇突然出现,连忙上前想阻拦,可被直接野蛮推开。
“狡猾的龙国人,就是你们给龙兴科技生产芯片的对吧?”
图奇大步往里走。
荷兰工程师个个人高马大,被派往龙国企业时,荷兰ASML公司就考虑过这种情况。
一次拦不住,李正德再次上前想要阻拦,却被推翻在地,体型完全不是一个量级的。
小小的工程师,完全不把千亿市值公司副总放在眼里,龙芯国际属实独一份。
不过没办法。
设备被人家掐住命脉了。
陆陆续续,十几位荷兰工程师都抵达生产工厂,他们全部都直奔生产工厂各个出口,不让里面的人出来。
因为喝多,高永明踉踉跄跄摔倒数次,十分狼狈,很轻松就被图奇给追上脚步。
“高总走得这么急,难道是工厂进贼了吗?”
图奇略带玩味道。
高永明摇了摇脑袋想醒酒,但酒精上头让他只想倒头就睡,可意志力告诉他不能睡。
龙兴科技能顶住压力,研制出12寸半导体硅片,陈星也敢顶在最前面挨打,他龙芯国际高永明为什么不行?
下定决心的他用力咬了舌尖,一股刺痛让他瞬间清醒,踉踉跄跄站起身道:“我…我有一份文件,不对,设备忘记关了。”
“哦?”
图奇冷笑一声,继续说道:“既然如此,那我们一同进去,帮高总你关设备吧。”
高永明心生悲意,但也无奈,只能一同走进生产工厂。
图奇见高永明脸色难看,已经断定龙芯国际私自使用了光刻机,只要上报给总部,或许轻舟芯片生产之谜就解开了。
当他走进更衣间,穿好防尘服打开光刻机洁净室隔离门那刻,顿时愣了数秒。
空无一人!
设备都处于断电状态。
“怎么会这样?”
图奇不敢相信自己眼睛,走进去检查设备。
光刻机没有生产温度。
生产材料也没有减少。
各个设备历史数据,同样显示这段时间没有生产。
高永明默默退出洁净室,回到更衣室拿出手机,通知栏有三条冯承铭发来的微信消息。
原来在他们走进园区时,冯承铭这边刚好完成裸片封装,并收拾好场地。
李正德阻拦图奇时,冯承铭的一位学生就在监控室,看见了画面并跑去报告。
得知消息后,冯承铭带着学生们紧急往另外出口走,并直奔高永明的办公室。
李正德和高永明短暂的拖延,让他们顺利脱身。
也幸好是冬天,外加仅仅只有五片半导体硅片,设备运行时的温度很快就冷却下来了,图奇也没有发现异常。
十几位荷兰工程师见图奇没找到蛛丝马迹,也纷纷走进洁净室,寻找遗漏的地方。
今晚的龙芯国际太可疑了,他们不得不重点检查。
可检查了一圈发现,今晚光刻机确实没启动,而且原材料也没有丢失,甚至连六甲基二硅胺烷气体都没有减少。
“这…”
因为仗着有理,高永明冷哼一声道:“图奇先生,我想你需要给我个完美的解释,你现在的样子,可没有半点生病的迹象。”
“老总,李副总被送医院了,刚才查监控,是图奇工程师将他推倒在地,磕到头。”
另一位副总连忙报告。
说话时,他给高永明使了个眼色,这让后者立马反应过来,原来是做戏做全套。
正好可以借此机会,向荷兰ASML公司施压,清一清这十几位活体监控。
图奇脸色瞬间煞白,其他荷兰工程师也懵了,把人推住院,要不要这么暴力?
“高总你听我解释…”图奇刚想解释,高永明冷哼道:“不用解释了,我会向你们老总说明情况,我醉了需要休息,你们喜欢检查,那你们就继续检查吧。”
在找了个理由后,他立马回到自己办公室。
因为是千亿集团,他的办公室是有休息单间的,也没有人会怀疑他回办公室的动机。
回到自己老总办公室,他立马反锁房门,躲在里间的冯承铭见是高永明,连忙出来报喜道:
“成了!龙兴科技的这五片半导体硅片,良品率提高了11%,达到了97%,而且生产的裸片性能还有小幅度提升,功耗下降了1W,性能提升了10%,这是前所未有的改良版半导体硅片!”
“什么???”
高永明扯着嗓子询问。
本来今晚他就喝多了,现在整个人都昏昏沉沉。
听见97%良品率,芯片性能还能通过硅片提升,他现在整个人是懵上加懵。
“嘘!”
冯承铭做了个嘘的手势,继续说道:“是真的,我们已经测试了,这批芯片性能不是个例,而是都有提升。”
“我猜测…”
“问题出自半导体硅片上!”
“草!”
高永明酒精已经彻底上头,继续扯着嗓子道:“新工艺的半导体硅片,陈星你小子真牛逼……”
“噗通——”
最后的牛逼只念了一半,他就承受不住,倒在地上呼呼大睡,嘴里还念叨着:
“新工艺硅片…”
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